測(cè)量尺寸

300*200*200(mm)

400*300*200(mm)

500*400*200(mm)

600*500*200(mm)

測(cè)量精度

(3+L/200）μm

（3+L/200）μm

（3+L/200）μm

（3+L/200）μm

外形尺寸（mm）

760 x 660 x 970

860 x 760 x 970

1160 x 910 x 1020

1680 x 1543 x 1026

整機(jī)重量

200kg

280kg

380kg

430KG

機(jī)械本體

底座，立柱：濟(jì)南花崗巖精度00級(jí)，平面度3μm,物理穩(wěn)定

導(dǎo)軌：FY- V型高平衡滾子交叉導(dǎo)軌

光柵尺： 新天精密閉合式光柵尺,分辨率1微米

Z軸驅(qū)動(dòng)方式：  自動(dòng)對(duì)焦   

光學(xué)系統(tǒng)

CCD

日本索尼芯片彩色工業(yè)數(shù)字?jǐn)z像機(jī)

鏡頭

可連續(xù)變倍高清鏡頭，光學(xué)放大倍率0.7×-4.5×

表面光

采用進(jìn)口LED冷光源和高品質(zhì)調(diào)光板、無極調(diào)節(jié)、光線細(xì)膩柔和，表面光成像明亮清晰

輪廓光

采用平行光源，成像清晰、邊角分明，特別對(duì)軸類、圓弧類工件測(cè)量更加精準(zhǔn)

放大倍率

影像放大倍率：21～160 X

軸承配件

日本NSK高速軸承

日本NSK高速軸承

限位開關(guān)件

日本歐姆龍點(diǎn)限位開關(guān)

日本歐姆龍點(diǎn)限位開關(guān)

聯(lián)軸器

日本米思米聯(lián)軸器

日本米思米聯(lián)軸器

數(shù)據(jù)系統(tǒng)

采用高分辨率光柵尺，確保三軸線性精度，X、Y、Z光學(xué)尺分辨率：0.001mm

工作臺(tái)

層工作臺(tái)設(shè)計(jì)，高強(qiáng)度航空鋁合金材料，進(jìn)過特殊的處理工藝，使材料內(nèi)部和表面具備了硬度和穩(wěn)定性 ?長久的自然時(shí)效過程，使工作臺(tái)內(nèi)應(yīng)力的變化，物理特性非常穩(wěn)定

玻璃臺(tái)

采用德國進(jìn)口原片玻璃，微浮法工藝制造，經(jīng)過精密研磨，具有極高的平面度和透光率

軟件系統(tǒng)

INSPEC智能測(cè)量軟件支持多語言

0. 1微米分辨率三軸DC300解析系統(tǒng)

高清晰SDK2000視頻采集系統(tǒng)

附件

保養(yǎng)手冊(cè)

出廠檢驗(yàn)報(bào)告

1微米分辨率校準(zhǔn)片

各適用連接線

攝像機(jī)

美國TEO CCD攝像機(jī)

TEO攝像機(jī)采用CCD平移式C/CS調(diào)節(jié)可在8mm范圍內(nèi)任意 連續(xù)調(diào)節(jié)，精度達(dá)到卩m級(jí)，確保調(diào)節(jié)后截距，尤其在接長 焦鏡頭和配在顯微鏡上使用效果格外明顯

鏡頭

普密斯數(shù)字變焦物鏡

像素更高，成像精準(zhǔn)度高，抗干擾強(qiáng)，噪點(diǎn)小,畫面干凈 測(cè)量不同高度自動(dòng)變焦，省去手動(dòng)的麻煩

電機(jī)

松下伺服電機(jī)

實(shí)現(xiàn)了位置，速度和力矩的閉環(huán)控制

抗過載能力強(qiáng)，能承受三倍于額定轉(zhuǎn)矩的負(fù)載 電機(jī)加減速的動(dòng)態(tài)相應(yīng)時(shí)間短，一般在幾十毫秒之內(nèi)

探針

英國雷尼紹(RenishawMCP)三維測(cè)針

對(duì)被測(cè)物的三維進(jìn)行精準(zhǔn)測(cè)量，如高度、深度、空間距等

傳感器

基恩士三維激光傳感器

IP67級(jí)別防水

激光測(cè)長測(cè)距，實(shí)現(xiàn)1000 mm的長距離測(cè)量 減少像素邊緣誤差，精度達(dá)到0.01卩m

光源

五環(huán)八區(qū)環(huán)形表面光源

使得被測(cè)物更加精準(zhǔn)

1

機(jī)械本體

主機(jī)

影像測(cè)量系統(tǒng),z軸全自動(dòng)控制，X、y軸手動(dòng)控制

2

機(jī)械結(jié)構(gòu)

花崗巖主體結(jié)構(gòu)，物理性能穩(wěn)定

3

光柵尺

貴陽新天光柵尺，分辨率1 pm

4

導(dǎo)軌

平行精密滾珠交叉導(dǎo)軌

5

三軸驅(qū)動(dòng)

恒控伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)

6

攝像機(jī)

康斯得相機(jī)冋定制）

7

鏡頭

普密斯手動(dòng)變倍鏡頭冋定制）

8

光學(xué)系統(tǒng)

放大倍率

光學(xué)放大倍率：0.7X-4.5X ;影像放大倍率：21-160X

9

表面光

3環(huán)單區(qū)LED冷光源，256級(jí)亮度可調(diào)

10

輪廓光

LED冷光源，256級(jí)亮度可調(diào)（可定制）

11

軟件系統(tǒng)

INSPEC測(cè)量軟件

根據(jù)型號(hào)而定

12

電控系統(tǒng)

ACT420電控系統(tǒng)

根據(jù)型號(hào)而定

13

附件

操作手柄

14

操作電腦

工業(yè)電腦

15

出廠合格證

經(jīng)博圖校驗(yàn)合格

16

軟件優(yōu)盤

數(shù)據(jù)備份優(yōu)盤

17

保修說明書

1份